5-אַקס געפֿרעזטע קעראַמישע איזאָלאַטאָרן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט און ריינצימערן

אין דער הויך-שטאַק וועלט פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע און ריינצימער סביבות, מוז יעדער קאָמפּאָנענט צושטעלן פלאָלאַס פאָרשטעלונג.פּ.פ.ט., מיר ספּעציאַליזירן זיך אין קראַפטינג5-אַקס געפֿרעזטע קעראַמישע ינסאַלייטערזוואָס רידיפיינירן פּרעציזיע און פאַרלעסלעכקייט. מיט איבער 20+מיט יאָרן פון עקספּערטיז, זענען אונדזערע לייזונגען אינזשענירט צו טרעפן די שטרענגע פאָדערונגען פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט, וואָס גאַראַנטירט טערמישע פעסטקייט, עלעקטרישע איזאָלאַציע און קאַנטאַמאַניישאַן-פֿרייע אָפּעראַציע אין גאָר סענסיטיווע סעטטינגס.

פארוואס קלייבן אונדזערע 5-אַקס געפֿרעזטע קעראַמישע איזאָלאַטאָרן?

1.אַוואַנסירטע פּראָדוקציע קייפּאַבילאַטיז

אונדזער מעכאַניזם איז אויסגעשטאַט מיטמאָדערנע 5-אַקס CNC מילינג מאשינען, וואָס ערמעגליכט מיקראָן-לעוועל אַקיעראַסי אין שאַפן אַוואַנסירטע קעראַמיק ווי אַלומינאַ (Al₂O₃), סיליקאָן קאַרבייד (SiC), און אַלומינום ניטריד (AlN). ניט ווי קאַנווענשאַנאַל מעטהאָדס, 5-אַקס מאַשינינג אַלאַוז פֿאַר קאָמפּלעקס געאָמעטריעס - קריטיש פֿאַר קאַמפּאָונאַנץ ווי וועיפער ליפט פּינס, דעפּאָזישאַן קאַמער טיילן, און פּלאַזמע-קעגנשטעליק ינסאַלייטערז.

שליסל פֿעיִקייטן:

•פּרעציזיע:±0.005 מם טאָלעראַנץ פֿאַר נאָטלאָזע אינטעגראַציע אין ASML ליטאָגראַפֿיע מכשירים אָדער לאַם ריסערטש עטש סיסטעמען.
•מאַטעריאַל ווערסאַטילאַטי:אָפּטימיזירט פֿאַר 99.8% אַלומינאַ, הויך-ריינקייט SiC, און אַנדערע אַוואַנסירטע קעראַמיקס.
•ייבערפלאַך ענדיקן:Ra <0.2μm צו מינימיזירן פּאַרטיקולאַט דזשענעריישאַן אין ISO קלאַס 1 ריינצימערן.

2.פּראַפּריעטאַרי פּראָצעס אינזשעניריע

אונדזערע אינזשענירן האָבן אַנטוויקלטפארמאכט-לופּ פּראָצעס קאָנטראָלסוואָס פּאַסן זיך אָן צו דער צעשפּרייטקייט פון קעראַמיק בעת מאַשינינג. דורך קאָמבינירן טרוקענע מילינג טעקניקס מיט רעאַל-צייט ווייבריישאַן דאַמפּינג, דערגרייכן מיר ריס-פֿרייע ייבערפֿלאַכן און פֿאַרלענגערטע קאָמפּאָנענט לעבן-שפּאַן - אפילו אונטער עקסטרעמע טערמישע ציקל (ביז 1,600°C).

כידעש ספּאָטלייט:

•סטרעס-רעליעף פּראָטאָקאָלן:מינימיזירן מיקראָ-פראַקטשורן אין אַלן ינסאַלייטערז פֿאַר CVD אַפּלאַקיישאַנז.
•נאך-מאשינירונג באהאנדלונגען:HIP (הייס איזאָסטאַטיק פּרעסינג) פֿאַרבעסערט געדיכטקייט און קעראָוזשאַן קעגנשטעל.

3.שטרענגע קוואַליטעט פארזיכערונג

יעדער איזאָלאַטאָר גייט דורך12-שטאַפּל דורכקוק, אריינגערעכנט:

•CMM (קאָאָרדינאַט מעסטן מאַשין)וואַלידאַציע פון ​​קריטישע דימענסיעס.
•העליום ליק טעסטינגפֿאַר וואַקוום קאַמפּאַטאַבילאַטי.
•EDS (ענערגיע-דיספּערסיוו X-שטראַל ספּעקטראָסקאָפּיע)צו באַשטעטיקן די ריינקייט פון מאַטעריאַל.

אונדזערISO 9001/14001-סערטיפיצירטע סיסטעםזיכערט טרעיסאַביליטי פון רוי מאַטעריאַל פּראַקיורמאַנט (געקויפט פון Tier 1 סאַפּלייערז ווי CoorsTek) ביז לעצט פּאַקאַדזשינג.

אַפּליקאַציעס: וואו פּרעציזיע טרעפט פאָרשטעלונג

אונדזערע איזאָלאַטאָרן זענען טראַסטווערדי אין:

•עטשינג און דעפּאָזיציע מכשירים:SiC-באדעקטע קאמפאנענטן פאר פלאזמע קעגנשטאנד אין Applied Materials™ מאדולן.
•יאָן אימפּלאַנטערס:אַלומינאַ ליפט פּינס מיט אַנטי-סטאַטישע קאָוטינגז צו פאַרמייַדן וועיפער גליטשן.
•מעטראָלאָגיע סיסטעמען:נידעריק-טערמיש-אויסברייטונג איזאָלאַטאָרן פֿאַר EUV ליטאָגראַפֿיע סטאַגעס.

פאַל שטודיע:א פירנדיקער האַלב-קאָנדוקטאָר אָעם האָט רעדוצירט געצייַג דאַונטיים מיט 40% נאָך דעם ווי זיי זענען איבערגעגאַנגען צו אונדזערע ספּעציעל-דיזיינד SiC שאַוער-קעפּ, וואָס האָבן איבערגעשטיגן די קאָנקורענטן'ס טיילן אין 300 מ"מ וועיפער פּראַסעסינג.

ווייטער פון פאבריקאציע: א פארטנערשאפט צוגאנג

•שנעלע פּראָוטאַטייפּינג:שיקט אריין אייערע קאַד טעקעס און באַקומט פונקציאָנעלע פּראָטאָטיפּן אין 7 טעג.
•אויף-פּלאַץ ריינרום פּאַקאַדזשינג:אָפּציאָנעל קלאַס 10 ריינרום פֿאַרזאַמלונג פֿאַר דירעקט געצייַג אינטעגראַציע.
•לעבנס-לאַנג טעכנישע שטיצע:אונדזערע אינזשענירן צושטעלן טראָגן אַנאַליז און רי-מאַשינינג באַדינונגען צו פֿאַרלענגערן קאָמפּאָנענט לעבן-ציקלען.